HITECニュース

こんなことができます

企業の新技術・新製品の開発などに北海道立工業技術センター設置機器をご利用いただくために、機器をシリーズで紹介しています。

薄膜部品の表面状態や微細加工形状などを測定できます
表面形状測定器
基本使用料(最初の1時間)8,350円、2時間目以降(1時間ごと)480円、税込み

表面形状測定器は、真空蒸着法などで成膜された金属薄膜や半導体薄膜のような薄膜部品の表面状態や膜厚を 測定する装置です。特に、半導体分野では微細加工後のパターン形状と寸法を高精度で測定する場に使用されます。また、光学部品の表面あらさ、うねりの測定 にも使用できます。
測定はダイヤモンド針を測定物の表面に押し当てながら走査して行い、平均高さ、最大高さ、断面積、曲率半径、傾き、中心線平均うねり、自乗平均平方根う ねり、自乗平均平方根あらさ、最大平均あらさなど信頼性の高い解析結果が得られます。軟らかい材料でも、ダイヤモンド針の押し付け荷重を低く設定すること で測定できます。測定手順は大変簡便ですので、初めての方でも容易に使用することができます。なお、本機器の仕様は下記のとおりです。ご利用方法などにつ いては、プロセス技術科へお問い合わせ下さい。

表面形状測定器(日本真空技術㈱:Dektak-3030ST)仕様
膜厚測定範囲: 100Å〜1310 kÅ
垂直方向分解能: 1Å(測定範囲65 kÅのとき)
走査距離: 50μm〜50mm
触針圧: 1〜40mg
触針半径: 2.5μm
サンプルステージ直径: 165mm
解析ソフト: 22本
同時表示可能解析パラメータ: 8個