走査電子顕微鏡（日本電子㈱　JSM-IT200LA）

機械金属部品や電気電子部品など、材料のミクロ観察や分析を行います。

 

走査電子顕微鏡は、試料に電子を照射し、試料表面から放射される二次電子や反射電子を画像化することによって表面の凹凸を数十倍から数万倍レベルまで拡大して観察できる装置です。また、電子線照射によって発生する特性X線を測定することで、材料に含まれる元素の種類と組成を分析する装置です。本装置では、高真空モードと低真空モードを切り替えて使うことができます。高真空モードは高倍率の観察、低真空モードは絶縁物や食品のような水分を含んだ試料を観察できるという特徴があります。また元素分析においては、観察中の任意のポイントで元素分析ができるので、微小な試料の分析にも対応できます。プラスチックや食品などのように熱に弱い材料についても、試料を低温にして観察することができます。機械金属、電子材料、プラスチック、食品など、様々な試料についてミクロ観察及び元素分析が可能で、様々な研究開発、製品の特性向上のための調査に利用でき、製造技術開発や新製品開発などの課題解決に役立ちます。

 

本装置は、平成３０年度[JKA（競輪）補助事業]により導入されました。

 

 

【仕様　他】　　真空モード　高真空、低真空（10～100Pa）

観察像　　　　二次電子像、反射電子像

分解能　　　　3nm（高真空）、4nm（低真空）

観察倍率　　　5 倍から30万倍

元素分析　　　EDS検出器によるリアルタイム分析（検出可能元素Be～U）

試料冷却　　　－25℃～＋50℃（温度制御）

 

ご質問やご相談がございましたら、当センターへお気軽にご連絡ください。 【お問い合わせ】研究開発部ものづくり技術支援グループ　菅原　℡（0138）34-2600

 

（写真）走査電子顕微鏡