表面形状測定器（株式会社アルバック（KLA-Tencor）Alpha-Step D-600）

IoT機器向けの電子部品や基板表面の凹凸を測定することで、部品の信頼性評価や表面の加工精度の測定・評価を行います。

 

表面形状測定器は、試料表面にダイヤモンド針を僅かに接触させながら表面を移動することで、薄膜電子部品や基板の表面あらさ、膜厚を測定する装置です。導入機器は、金属やセラミックスといった比較的硬い材質からプラスチックやゴム等のやわらかい材質の試料まで、硬さに応じて針の接触圧力を変化させて、試験片の表面状態を精度よく簡便に評価できる装置です。試料を載せるXYステージは電動で使いやすく、モニターで確認しながら目標の測定ポイントまで移動できます。測定結果は、３Dイメージで表現することも可能です。利用例としてIoT機器に搭載される電子部品やセンサーにおいては、屋外使用における信頼性向上のため、防水・防塵・防食等の表面処理技術が不可欠ですが、本装置を使用することで、表面あらさや加工精度といった表面に関する測定・評価が可能です。IoT分野の製造技術開発や新製品開発などの課題解決に役立ちます。

 

本装置は、北海道AI･IoTオープンイノベーション・プラットフォーム構築事業（経済産業省／平成30年度補正予算［地域新成長産業創出促進事業費補助金］）により令和元年度に導入されました。

 

【仕様】

測定方式　触針式

針圧範囲　0.03～15mg

測定長さ　55mm

サンプルステージ直径　　200mm

XYステージ移動範囲　　150×178mm

垂直測定レンジ（最大）　　1200μm

垂直測定分解能　　0.038nm

 

ご質問やご相談がございましたら、当センターへお気軽にご連絡ください。
【お問い合わせ】研究開発部応用技術支援グループ　菅原　℡（0138）34-2600

 

（写真）表面形状測定器

 

 

 

 

 

信頼性評価システム（TESEQ　NSG3040A-IEC）

 

電子基板や電子機器等の電気的耐性を評価するEMS試験システムです。

 

電子機器類に対して、使用環境に起因する電磁気ノイズが加わると、故障や誤作動を生じる可能性があります。そのため、電子機器類には、このようなノイズに対する耐性が求められることから、「屋内スイッチ」「落雷」「商用電源変動」等のノイズを疑似的に与え、機器の電磁感受性（EMS: Electromagnetic Susceptibility）を評価することが重要になります。

本システムでは、EMS試験のうち下記の規格試験を実施することができます。

･IEC61000-4-4  EFT/B試験

･IEC61000-4-5  雷サージ試験

･IEC61000-4-11 電圧ディップ、短時間停電及び電圧変動試験に対するイミュニティ試験

本システムをIoT機器などの研究開発、信頼性や品質向上のための評価試験に利用することで、電磁気ノイズ対策技術や、設計・製造技術における課題解決に役立ちます。

 

本装置は、北海道AI･IoTオープンイノベーション・プラットフォーム構築事業（経済産業省／平成30年度補正予算［地域新成長産業創出促進事業費補助金］）により令和元年度に導入されました。

 

【仕様】

IEC61000-4-4  電圧　　:±200 V ～4.8 kV (オープン回路)、

±100 V～ 2.4 kV (50Ω)バースト周波数　:100Hz～1000kHz

IEC61000-4-5  電圧　　:±200 V ～4.8 kV (オープン回路)

IEC61000-4-11 電源電圧:100 V      Step: 0,40,70,80%

 

ご質問やご相談がございましたら、当センターへお気軽にご連絡ください。

【お問い合わせ】研究開発部ものづくり技術支援グループ　村田　℡（0138）34-2600

（写真）信頼性評価システム