オージェ電子分光分析装置

真空機械部品、機械・金属材料、電子部品、電子・セラミックス材料の表面分析を行います。

 

オージェ電子分光分析装置は、超高真空の中で分析試料に電子を照射し、オージェ電子を測定することによって表面に存在する元素の種類と組成を分析する装置です。

 

本装置は、試料表面の元素組成を分析するだけでなく、アルゴンイオンを照射して、試料をナノレベルで少しずつ剥ぎ取りながら測定することで、表面から内部にかけて深さ方向の元素分布の分析もできます。電子照射部にはフィールドエミッションタイプが採用されており、高倍率の観察ができナノテクノロジー分野への対応も可能です。さらに、オージェ電子の測定を静電半球形検出器で行うことにより、化学結合状態の違いについて詳細に解析できます。本装置は機械・金属材料の表面分析、機械部品や電子部品の不良要因解析、電気・電子材料の研究開発、真空成膜装置の性能評価などで利用でき、課題解決に大いに役立ちます。

 

本装置は、[JKA（競輪）補助事業]により導入されました

 

【導入年度】　平成29年度

【規格型式】　JAMP-9510F

【製造者】　　日本電子株式会社

【仕様　他】　検出感度　840,000cps

（cps：カウント/秒、オージェ電子の1秒間の計測数） アナライザ　静電半球形アナライザ

エネルギー分解能　0.05～0.6%

電子銃　ショットキー電界放射形 二次電子分解能　3nm（25kV、10pAのとき） 加速電圧　0.5～30ｋＶ

分析時最小プローブ径　8nm（25kV、1nAのとき）

ステージの移動範囲　X、Y：±10mm、Z：±6mm、T：0～90°、R：360°

 

ご質問やご相談がございましたら、当センターへお気軽にご連絡ください。 【お問い合わせ】研究開発部ものづくり技術支援グループ　菅原　℡（0138）34-2600

 

（写真）オージェ電子分光分析装置