レーザー顕微鏡（（株）島津製作所　OLS5100-EAT）

 

材料の超高倍率観察と3D測定ができます。

 

レーザー顕微鏡は、光源にレーザーを用いた光学系の顕微鏡で、54倍から17,000倍以上の超高倍率観察が可能です。　用途は、主に、半導体部品や機械部品ですが、光学系顕微鏡のため、例えば電子顕微鏡のような試料の前処理を必要とせず、セラミックスや金属だけでなく、有機物や濡れた試料の観察にも使用できます。また、高さ200mmまでの大型試料の観察も可能となっています。　レーザー顕微鏡最大の特徴は、3D画像を得ることが可能で、縦横高さ方向の寸法測定が可能なことです。部品の粗さ測定や形状寸法測定にも利用可能です。　本機器に関するご質問やご相談、金属やセラミックス、土石、プラスチック、食品の粉末、粉末以外にも各種粉砕などに関するご質問やご相談がございましたら、当センターへお気軽にご連絡ください。

 

本装置は、公益財団法人JKA「公設工業試験研究等における機械整備拡充補助事業」の補助を受けて令和4年度に導入されました。

 

【仕様他】

検鏡方式　　　　　レーザー：反射型レーザー共焦点画像

カラー　：CMOSカメラによるカラー画像

観察倍率　　　　　54倍〜17,280倍

表示分解能　　　　縦横(幅)1nm、高さ0.5nm

試料ステージ移動　XY方向100mm

試料高さ　　　　　最大200mm

 

【お問い合わせ】研究開発部　応用技術支援グループ　高橋　℡（0138）34-2600

（写真）レーザー顕微鏡