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主な機器・設備【ものづくり技術支援グループ】

オージェ電子分光分析装置

真空機械部品、機械・金属材料、電子部品、電子・セラミックス材料の表面分析ができます。

オージェ電子分光分析装置

　オージェ電子分光分析装置は、超高真空の中で分析試料に電子を照射し、オージェ電子を測定することによって表面に存在する元素の種類と組成を分析する装置です。導入機器は、試料表面の元素組成を分析するだけでなく、アルゴンイオンを照射して、試料をナノレベルで少しずつ剥ぎ取りながら測定することで、表面から内部にかけて深さ方向の元素分布の分析もできます。電子照射部にはフィールドエミッションタイプが採用されており、高倍率の観察ができナノテクノロジー分野へも対応も可能になっています。さらに、オージェ電子の測定を静電半球形検出器で行うことにより、化学結合状態の違いについて詳細に解析できます。
　例えば、機械・金属材料の表面分析、機械部品や電子部品の不良解析、電気・電子材料の研究開発、真空成膜装置の性能評価などに利用でき、幅広い分野で課題解決に役立ちます。

本装置は、[JKA(競輪)補助事業]により導入されました。
【JKA補助事業】導入機器一覧

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