機器・設備の利用

主な機器・設備【ものづくり技術支援グループ】

表面形状測定器

IoT機器向けの小型部品のうち、金属薄膜や半導体膜のような薄膜部品の表面状態や膜厚などを測定します。

表面形状測定器写真
表面形状測定器

 表面形状測定器は、ダイヤモンド針を僅かに接触させながら測定物の表面を移動することで、薄膜電子部品や基板表面の凹凸などの形状を測定します。
 本装置は針圧範囲が0.03~15mgと小さく、プラスチックやゴムなどのやわらかい試料にも対応しており、結果は3Dイメージで表現することが可能です。

 本装置は機械金属、電子材料、プラスチックなど、様々な試料について、簡単に表面の形状を測定することができます。また、IoT機器などに用いられる電子部品や基板表面、センサーの表面処理などでの信頼性評価や加工精度の測定・評価に用いることで、新製品開発などでの課題解決に役立ちます。

本装置は、北海道AI・IoTオープンイノベーション・プラットフォーム構築事業 (経済産業省/平成30年度補正予算[地域新成長産業創出促進事業費補助金])により令和元年度に導入されました。

補助目的であるIoT機器の開発に沿ったご活用をいただきます。

【お問い合せ・お申し込み先】

詳しい仕様やご利用方法などお気軽にお問い合わせください。

北海道立工業技術センター ものづくり技術支援グループ
TEL:0138-34-2600

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