機器・設備の利用
主な機器・設備
表面形状測定器
薄膜部品の表面状態や微細加工形状などを測定できます。
 表面形状測定器 |
表面形状測定器は、真空蒸着法などで成膜された金属薄膜や半導体薄膜のような薄膜部品の表面状態や膜厚を測定する装置です。特に、半導体分野では微細加工後のパターン形状と寸法を高精度で測定する場に使用されます。また、光学部品の表面あらさ、うねりの測定にも使用できます。
測定はダイヤモンド針を測定物の表面に押し当てながら走査して行い、平均高さ、最大高さ、断面積、曲率半径、傾き、中心線平均うねり、自乗平均平方根うねり、自乗平均平方根あらさ、最大平均あらさなど信頼性の高い解析結果が得られます。軟らかい材料でも、ダイヤモンド針の押し付け荷重を低く設定することで測定できます。
[仕 様]
●膜厚測定範囲：100Å〜1310 kÅ
●垂直方向分解能：1Å（測定範囲65 kÅのとき）
●走査距離：50μm〜50mm
●触針圧：1〜40mg
● 触針半径：2.5μm
● サンプルステージ直径：165mm
● 解析ソフト：22本
● 同時表示可能解析パラメータ：8個
測定手順は大変簡便ですので、初めての方でも容易に使用することができます。
【お問い合せ・お申し込み先】
詳しい仕様やご利用方法などお気軽にお問い合わせください。
北海道立工業技術センター
TEL：0138-34-2600