機器・設備の利用
主な機器・設備
ICマイクロマシン試作システム
ミクロンサイズの小さな電子部品を作製するための
微細加工ができます。
本装置は、電子ビーム露光機、マスクアライナー、真空マニピュレーションシステム、高圧電源、大型超音波洗浄機から構成されています。
 ICマイクロマシン試作システム |
電子ビーム露光機
●電子ビーム用レジストを塗布したウエハなどの基板に、高エネルギーの電子を照射して微細パターンを形成します。加工精度が高いのが特徴です。パターンのミクロ観察及びカソードルミネッセンス測定による材料評価も可能です。
マスクアライナー
●紫外線用レジストを塗布したウエハなどの基板にガラス製フォトマスクを密着させ、その上から紫外線を照射してフォトマスクの微細パターンをレジストへ転写します。露光時間が数秒から数十秒と短いのが特徴です。
真空マニピュレーションシステム
●真空チャンバーにステージとマニピュレータ等のハンドリング機器を組み合わせたシステムで、真空中で材料加工や部品を試作することができます。試料ステージはX-YとX-θ方向に駆動でき、高真空用メカニカルハンドを装備しています。
高圧電源
●電子部品の試作実験用電源として、例えば真空マニピュレーションシステムと組み合わせて利用できます。
大型超音波洗浄機
●電子材料や真空部品に付着したミクロな汚れを除去できます。
【お問い合せ・お申し込み先】
詳しい仕様やご利用方法などお気軽にお問い合わせください。
北海道立工業技術センター
TEL：0138-34-2600