機器・設備の利用
主な機器・設備
レーザー顕微鏡
機械金属部品や電気電子部品など、材料を高倍率で観察し、３D寸法測定を行います。
 レーザー顕微鏡 |
レーザー顕微鏡は、光源にレーザーを用いた光学系の顕微鏡で、54倍から15,000倍以上の超高倍率観察が可能です。
用途は、主に、半導体部品や機械部品ですが、光学系顕微鏡のため、例えば電子顕微鏡のような試料の前処理を必要とせず、セラミックスや金属だけでなく、有機物や濡れた試料の観察にも使用できます。また、高さ200mmまでの大型試料の観察も可能となっています。
レーザー顕微鏡最大の特徴は、3D画像を得ることが可能で、縦横高さ方向の寸法測定が可能なことです。線粗さ・面粗さなどの粗さ測定、平面計測、面間段差解析、面積・体積測定球・面角度解析、粒子解析、膜厚測定など多彩な測定、解析機能があります。
半導体などの各種部品や小型機械部品を中心に、寸法エラーや面粗さのチェック等、製品開発や製造技術開発などの課題解決に役立ちます。
本装置は、[JKA(競輪)補助事業]により令和4年度に導入されました。
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北海道立工業技術センター
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