機器・設備の利用
主な機器・設備【ものづくり技術支援グループ】
スパッタ装置
金属・電子材料の薄膜を製造します。
 スパッタ装置 |
スパッタ装置は、様々な薄膜の形成が可能で、機械金属の耐摩耗性や防食性を高めるための表面処理装置として使用できます。装置内でアルゴンガスをイオン化し、原料のターゲットにアルゴンイオンを衝突させ、スパッタ現象を利用して薄膜製造・表面処理を行いますので、密着性のよいものができます。導入したスパッタ装置の性能としては、膜厚分布が均一、成膜方向が変えられ、メインポンプには清浄な真空を得られるターボ分子ポンプを使っているため、特性の優れた薄膜の製造が可能です。
例えば、機械・電子部品の機能性薄膜の成膜試験、機械・自動車関連製品の耐久性向上に関する試験研究などで利用でき、課題解決に役立ちます。
本装置は、[JKA(競輪)補助事業]により導入されました。
【JKA補助事業】導入機器一覧
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北海道立工業技術センター ものづくり技術支援グループ
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